ミツトヨお悩み解決提案

電子デバイス:微細パターン評価ができていますか?

  - 非接触3D計測システム Hyper Quick Vision WLIシリーズ

IoTや自動車CASE対応、5G通信などでますます高まる電子デバイス・半導体パッケージ需要。
信頼性向上のために寸法計測の要求は高まっています。
 
特に半導体の細線化技術と併せて注目される、3Dパッケージング技術ではマウンターの位置
決め精度やRDLの積層ズレの高精度な寸法測定が要求されます。
 
Hyper Quick Vision WLIシリーズでは白色光干渉計技術を用い、細線化が進む配線及び
小径ビアを3Dで計測する事が可能です。
 

下記のようなお悩み、ミツトヨの非接触3D計測システムなら解決ができます。

    • 次世代微細パターンの評価が所有機では測れない
    • 量産・増産に向けて、寸法測定と微細形状評価を1台で自動測定したい
    • 同じパターンが続き、手動測定により評価箇所を間違ってしまう

お悩み:所有機では微細パターンが測れない

image
「アスペクト比の高いL&S、小径ビア、薄膜蒸着の立ち上がり」なども測定可能

お悩み:検査方式を手動測定から自動測定に変えたい

image
画像測定と白色干渉計の「デュアルヘッド機構」

お悩み:座標系を持たない測定機は測定箇所を探すのに一苦労

image
測定箇所の容易な狙いこみ「デュアルヘッド機構」

ちょっと聞きたい。はこちらから

その他の解決提案・アプリケーション

微細形状測定システム
UMAP Vision System
最小径15μmの極小スタイラスで、微細形状の寸法・形状評価が可能な画像測定機
image
表面性状測定機
FORMTRACER Avantシリーズ
輪郭形状測定と表面粗さ測定を1台で可能にする、ハイブリッド測定機
3D表面性状解析ソフトウェア
MCubeMap
ISO25178に準拠した非接触3D粗さの解析が可能なソフトウェア