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ミツトヨお悩み解決提案
電子デバイス:微細パターン評価ができていますか?
- 非接触3D計測システム
Hyper Quick Vision WLIシリーズ
IoTや自動車CASE対応、5G通信などでますます高まる電子デバイス・半導体パッケージ需要。
信頼性向上のために寸法計測の要求は高まっています。
特に半導体の細線化技術と併せて注目される、3Dパッケージング技術ではマウンターの位置
決め精度やRDLの積層ズレの高精度な寸法測定が要求されます。
Hyper Quick Vision WLIシリーズ
では白色光干渉計技術を用い、細線化が進む配線及び
小径ビアを3Dで計測する事が可能です。
下記のようなお悩み、ミツトヨの非接触3D計測システムなら解決ができます。
次世代微細パターンの評価が所有機では測れない
量産・増産に向けて、寸法測定と微細形状評価を1台で自動測定したい
同じパターンが続き、手動測定により評価箇所を間違ってしまう
お悩み:所有機では微細パターンが測れない
「アスペクト比の高いL&S、小径ビア、薄膜蒸着の立ち上がり」
なども測定可能
詳しくはカタログ ページ9
お悩み:検査方式を手動測定から自動測定に変えたい
画像測定と白色干渉計の
「デュアルヘッド機構」
詳しくはカタログ ページ3
お悩み:座標系を持たない測定機は測定箇所を探すのに一苦労
測定箇所の容易な狙いこみ
「デュアルヘッド機構」
詳しくはカタログ ページ3
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